能源知識庫

重點摘述

電漿增強式化學氣相沈積裝置(PECVD)為光電半導體產業中，極關鍵之製程設備，該設備的量產型態最佳方案一直是業界持續關注並投入之研究項目。其中連續生產型（In-line type）是高性價比之量產方案，尤其可對應於需求高產能的太陽光電產業，特別是異質鍍膜的量產製程，例如高效率的矽晶異質接面太陽能電池結構。本文將就連續生產型PECVD設備之設計流程與關鍵技術內容進行介紹，從設備架構的選用考量，乃至其中的關鍵模組包含加熱系統、射頻系統、流體結構建構進行說明。設備開發過程中以射頻電磁場、熱流體分析等技術為主體，搭配量測儀器的協助使用，解構PECVD設備中射頻能量的行為，對設備效能之影響，如電漿分布均勻性的各種設計考量。對於需求高穩定性、高產能之量產型PECVD設備業者而言，能夠提供其相關設備之自主化生產方案。