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| 計畫名稱 | 馬達動力機械效率管理政策執行與基準訂定研究計畫 |
|---|---|
| 主題名稱 | 電子廠廠務真空泵變頻節能實務(A光電公司) |
| 資料時間 | 2020/6/8 |
| 上傳時間 | 2020/6/8 |
| 國別 | 國內 |
| 能源領域 | 經濟及產業 |
| 能源業務 | 節約能源 |
| 決策知識類別 | 評析 |
| 關鍵字 | 泵浦 電子廠 馬達 |
重點摘述
電子廠中半導體與光電廠廠務設施中使用100 mbar粗略真空作為製程使用，傳統定速真空泵於壓力達到時，仍然以全速運轉，消耗相當大之電力，新型變頻真空泵於壓力達到時，會降低轉速，相對的消耗電力比傳統定速真空泵少很多，節能一般可達20 ~ 50%。
| 附件 | 電子廠廠務真空泵變頻節能實務 |
|---|---|
| 資料提供者/機構 | 沈宗福 / 工業技術研究院 |
| 最後修改者 | |
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