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| 計畫名稱 | 高效能矽晶太陽電池關鍵製程研發設備開發計畫 |
|---|---|
| 主題名稱 | 高效率太陽電池關鍵製程設備-管式電漿輔助原子層沉積 |
| 資料時間 | 2022/12/07 |
| 上傳時間 | 2022/12/8 |
| 國別 | 國內 |
| 能源領域 | 政策與法規 |
| 能源業務 | 新及再生能源 |
| 決策知識類別 | 評析 |
| 關鍵字 | 穿隧氧化層鈍化接觸 多晶矽、鈍化、鈍化發射極觸點 太陽能電池 SiO 電漿增強式原子層沉積 |
重點摘述
穿隧氧化層鈍化接觸(Tunnel Oxide Passivated Contact, TOPCon)太陽能電池是最佳之高效電池選項之一，是未來降低發電成本的重要技術趨勢，效益超越目前市面上常規的太陽電池模組。因此開發高效率TOPCon元件技術是市場必要的趨勢，其中關鍵製程為以超薄氧化層製程及多晶矽層，因此本文對該關鍵製程提出之新型生產設備技術(管式電漿輔助原子層沉積)進行分析及發展現況之介紹，以突破國際太陽能業者的技術競爭。
| 附件 | 高效率太陽電池關鍵製程設備-管式工業電漿輔助原子層沉積 (PEALD).pdf |
|---|---|
| 資料提供者/機構 | 葉昌鑫 / 財團法人金屬工業研究發展中心 |
| 最後修改者 | |
| 聯絡電話 | 07-6955298#310 |
| 聯絡 Email | sin@mail.mirdc.org.tw |
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