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評析

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計畫名稱

114年度能源先期管理制度執行、查核與研究 (1/3)

主題名稱 高科技Fab廠空調系統節能技術與國際發展趨勢
資料時間 114/9/9
上傳時間 2025/9/9
國別 國內
能源領域 政策與法規科技
能源業務 節約能源
決策知識類別 評析
關鍵字 能源先期管理 最佳可行技術 半導體 空調

重點摘述

台灣半導體產業在全球供應鏈中扮演關鍵角色,先進製程對環境條件要求嚴苛,導致空調系統能耗佔比偏高。隨著淨零碳排、RE100 與國際法規(如吉佳利修正案)推動,Fab廠空調系統需同時兼顧「產 能與良率」及「能效提升」。其節能核心思維在於由「滿載供應」轉向 「精準需求」,以減少過度設計造成之能源浪費。具體策略包含:降低無塵室溫濕度及換氣率的過度需求、顯熱與潛熱負載分離處理、風機與水泵變頻化降低搬運能耗、選用高季節效率設備、以及餘能回收與跨系統整合。空氣處理方面,透過提高露點溫度要求、採熱管或餘熱回收方式,能有效降低冷卻與再熱雙重耗能;冰水站則可藉高效率低 GWP冷媒主機、群組AI優化控制及冷卻水塔升級提升整體效率。能源管理上,應建立EnPI指標,藉由即時監測與AI預測控制,推動跨部門整合及長期優化。高科技Fab廠節能需跳脫單點改善,發展全廠系統化、數位化及智慧化管理,方能在國際競爭與永續發展中維持優勢。

附件 知識庫上傳物件 -高科技Fab廠空調系統節能技術與國際發展趨勢.pdf  
資料提供者/機構 國立臺北科技大學能源與冷凍空調工程系柯明村副教授 / 台灣經濟研究院
最後修改者
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